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十年磨一剑 锋芒终出鞘

2023-02-20 09:00:39

上海新阳超纯铜电镀液产品成为中芯国际上海工厂的基准材料(Baseline)

    近日,从中芯国际传来令人振奋的好消息——上海新阳超纯铜电镀液产品(VMS)继2012年11月正式上线使用、2013年3月份成功切换到中央供液系统后,又于8月份成功成为中芯国际上海工厂的基准材料(Baseline)。

此前,上海新阳超纯铜电镀液产品(VMS)已获中芯国际2012年下半年相关化学品供应商综合评估排名第一。据中芯国际反馈,上海新阳超纯铜电镀液(VMS)验证进展较理想,在铜填充效果、在线缺陷检测、电性、良率、可靠性(RE)等关键性技术指标考核中均与原基准材料相当。同时,上海新阳的超纯铜添加剂产品于中芯国际的上线验证评估工作正在紧锣密鼓地进行。

十年磨一剑!上海新阳此次超纯铜电镀液产品(VMS)成功成为中芯国际上海工厂的基准材料(Baseline),标志着上海新阳经过十年不懈努力开发出拥有完全自主知识产权的高科技含量的超纯晶圆制程化学材料进入了国际半导体市场,标志着高端超纯晶圆制程化学材料完全由国际几大材料巨头垄断的格局被打破,标志着中国本土半导体材料供应商完全有能力进入高端超纯晶圆制程化学材料领域,并成为其主流供应商!


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