股票代码:300236.SZ
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大马士革
产品应用
  • • 大马士革铜互连电镀
  • • 产品覆盖14nm以上所有铜互连电镀工艺
  • • 配套设备:LAM和AMAT
产品特性
  • • 具备卓越的Bottom up填充能力,能够实现高效、无空洞的深孔和高深宽比结构填充。
  • • 在不同关键尺寸(CD)下均能实现无缺陷的完美填充,适应多样化工艺需求。
  • • 产品符合绿色环保理念,减少有害物质使用与排放,助力可持续发展。