股票代码：300236.SZ
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上海市集成电路关键工艺材料重点实验室

上海市集成电路关键工艺材料重点实验室，依托上海新阳半导体材料股份有限公司，面向国家战略与产业前沿，构建“产学研用+人才培育”协同体系。
电子电镀
电子清洗
电子蚀刻
电子光刻
电子研磨
5大研发平台

实验室

0
科研人员(人)
0+
研发固定资产(亿)
0+
设备投入(台/套)
0+
实验室面积(㎡)
0+
高标准洁净实验室面积(㎡)
研发实验室

集成电路电镀、清洗、蚀刻、光刻、研磨等领域技术的研发平台

分析实验室

对原材料、中间过程及最终产品进行全方位的精准评估与数据解读

应用实验室

电镀、清洗、蚀刻、光刻、研磨应用技术平台

实验室设备
专利成果
依托核心技术平台，集成电路制造用电镀、清洗、工艺，实现知识产权的全面自主可控布局，不仅确保产品供应链安全，更助推国产半导体材料及装备技术自主化。
500+
专利申请
340+
发明专利申请
190+
授权发明专利
* 以上数据截止至 2025 年底